二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是為半導體器件的快速熱處理（RTP）而設計的擴散爐。這種高效可靠的爐具有優異的溫度均勻性和穩定性，非常適合廣泛的半導體加工應用。SVG VTR 6000由真空密封不銹鋼加工室、工藝氣體歧管和背面冷卻板式組件組成。腔室裝有底裝擠出機。擠出機是這種爐的一個獨特的特點，它允許廣泛的工藝配置和效率。AVIZA VTR 6000的氣體輸送設備包括一個氣箱、一個壁掛式壓力調節器和一個比例閥，提供精確控制的全程過程氣體，可以輸送到基板上。此外，該爐還配備了一個電子溫度控制器，可提供快速加熱和冷卻周期，從而能夠快速編程和更改配方，而不會中斷過程。控制器還具有簡單的圖形用戶界面。VTR 6000的背面冷卻板式組件沿三個通道分配電源,以實現基板的垂直和水平溫度均勻性。冷卻板進一步提高了溫度控制的均勻性和準確性，消除了溫度過火或過火。THERMCO VTR 6000包含高級安全功能,例如自動關機系統,以防止過高的過程溫度。這一特性特別重要，因為它可以防止基板過熱和災難性的基板故障，從而確保安全和高效的工作環境。此外，SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000還配備了空氣過濾裝置，以提供爐內的清潔空氣循環，最大限度地降低汙染風險。綜上所述，SVG VTR 6000是為快速熱處理應用而設計的極其可靠的擴散爐。它具有高效的氣體輸送機、具有用戶友好的GUI的電子溫度控制器、用於提高溫度均勻性的背面冷卻板式組件,以及包括自動關機和空氣過濾資產在內的先進安全功能。憑借其卓越的性能、可靠性和安全特性,AVIZA VTR 6000是半導體處理應用的理想選擇。