二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597263 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000是半導體工業中使用的擴散爐，將標準擴散爐的能力與先進的自動化和定制選項相結合。該爐可提供高達25瓦的功率、高達3600瓦的施加熱量和高達1150 °C的溫度。其高級控制器包含16個高級擴散和植入程序，使用戶能夠自定義自己的流程，以達到期望的效果。該室還配備了自動化的乙二醇冷卻設備，確保在過程的每個步驟中均勻冷卻。腔室由兩個部分組成：基座和堆棧，這使得更精確的控制。基座以電子方式供電,顯示實時溫度和壓力讀數,以及用於溫度和壓力設置的數字讀數。腔室還設有一個用於觀察內部的石英視口，以及一個0-5伏輸出連接到可編程邏輯控制器（PLC）。SVG VTR 6000配備了既包含擋板投擲器又包含冷凝器的擴散泵，允許精確控制腔室壓力。這種先進的泵是為了減少環境噪音和振動，更精確地集中材料和更快的循環時間。泵也是可編程的，使用戶能夠定制材料通過腔室移動的速率，以達到所需的擴散水平。該爐還包括一個自動化的中央過程控制系統，其中包括監測溫度、腔室壓力和過程步驟的一系列計時器和報警器。這一單元的設計目的是確保食譜得到準確的遵循，並確保流程在規定的時間內完成。機器還可以防止任何可能導致腔室或其部件損壞的工藝條件。此外，中央過程控制工具通過監測腔室的氧氣水平有助於提高安全性。除了令人印象深刻的一系列功能外,AVIZA VTR 6000還提供多種配件,以提高工作效率和便利性。其中包括支持自動化和手動晶片處理的載波晶片傳輸資產，以及用於裝卸應用的徑向爐輪轂和固定裝置。該車型還擁有多種優質石英配件，包括窗簾、分級桶、準直器和專用石英襯裏。最後,VTR 6000為塗層應用提供了一組額外的石墨和RP-CVD部件。總體而言,THERMCO VTR 6000是一種功能強大、可靠且用途廣泛的擴散爐,為定制和提高生產率提供了巨大的機會。通過將一個標準的擴散爐與先進的自動化選項相結合，用戶可以在保持安全和高效的同時達到所期望的效果。