二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種高性能擴散爐，設計用於半導體工業的研發實驗室。SVG VTR 7000可提供可靠、精確的熱過程,並具有低調的潛水加熱器,可在整個過程室中傳遞幹凈的熱量。AVIZA VTR 7000還具有精確的溫度控制和均勻性,具有比傳統擴散爐更好的均勻熱控制。THERMCO VTR 7000也可以在高達3500 °C的溫度下運行，並可用於沈積和蝕刻矽、砷化的、鋁等材料。為了確保均勻的熱控制，VTR 7000具有低矮的潛水加熱器，包含在工藝室內。加熱器使用先進的加熱材料，可以達到50°C到1500°C之間的溫度，具體取決於配置。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還具有多種其他先進的加熱部件，包括用於均勻熱控制的陶瓷頂部、用於傳熱的陶瓷增強線圈和電動升壓加熱器。這提供了出色的熱均勻性和整個工藝室精確的熱控制。SVG VTR 7000除了提供精確的熱控制外，還具有高性能真空能力。該設備可達到高達8 x 10-6 Torr的真空水平，並在高達10-4 Torr的腔室壓力下運行，以達到足夠的工作溫度。AVIZA VTR 7000能夠達到3500°C的溫度範圍,能夠執行各種擴散過程,包括快速熱處理（RTP）。THERMCO VTR 7000還具有先進的安全機制，確保用戶在整個過程中的安全。這包括在異常溫度超過、異常功率級別和其他安全條件下自動關閉設備功能。該系統還具有先進的診斷功能,可以監視設備狀態,並識別故障,以防止進一步損壞工序室。除了提供可靠精確的熱控制，VTR 7000還構建了提供高性能冷卻能力。這是由雙級冷卻機實現的，該機提供高速、低壓冷卻液流量，用於同時冷卻腔室外部和腔室內部。該工具還具有快速響應傳熱天花板，以快速平衡腔室溫度和低溫進料管線，以優化冷卻液循環。總體而言，SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一個強大的擴散爐設計的精度和可靠性。SVG VTR 7000由一系列先進的組件和安全機制構成,能夠在極端溫度下運行,用於各種擴散過程。AVIZA VTR 7000擁有低調的潛水加熱器、均勻的溫度控制和高性能真空能力，是半導體行業研發實驗室的絕佳選擇。