二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種擴散爐及配件，專為在廣泛的溫度範圍內對半導體進行高溫處理而設計。該設備采用先進設計、基於微控制器的控制，具有多個可編程設定點、坡道速率和熔爐參數，即使在高度動態的環境中也能確保精確的熱過程。SVG VTR 7000支持廣泛的過程，包括擴散、氧化、氮化、退火、離子植入和濺射沈積。AVIZA VTR 7000具有堅固的不銹鋼機櫃,配有隔熱門。一個最高溫度為1150 °C的腔室加熱器被並入到單元中，連同水平桿式的冷壁設計，在整個真空室中提供了極好的溫度均勻性。該系統采用先進的隔熱隔熱系統和先進的溫度控制系統，以優化傳熱效率。該爐支持的晶圓尺寸可達200毫米，並采用有效的閉環PID控制算法來實現良好的過程控制和穩定性。其先進的控制模塊提供了多個PID和開/關加熱器控制，一個上下樓梯控制程序和一個回填程序，幫助保持爐在恒溫。該爐有一個2模室風扇單元，以保持室內的溫度分布均勻。VTR 7000上的排氣機包括高效過濾器和洗滌器。THERMCO VTR 7000還配備了一個高溫計和多個溫度傳感器，精確測量爐內溫度以確保可重復結果。此外，該工具還設計了一個保護板，以盡量減少任何熱擊穿的影響。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000的板載電源監視器確保了操作員的安全和可靠性。SVG VTR 7000可以與各種旨在提高資產性能的附加配件結合使用。其中包括陽極氧化、冷卻系統、專用控制系統、工藝室和許多其他選項。這些附件允許定制的解決方案滿足任何特定的流程要求。總體而言,SVAVIZA VTR 7000是一種自動化的高溫擴散爐和附件模型,能夠在廣泛的溫度範圍內實現均勻和精確的擴散處理。它具有堅固的硬件、先進的溫度控制和監控功能以及廣泛的附件,使其成為半導體制造的絕佳選擇。