二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26405 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26405
晶圓大小: 8"
Vertical Furnaces, Nitride, 8" w/ Carousel and Asyst, as-is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種擴散爐及附件設備,設計用於反應性和非反應性材料的高級沈積。它是一個完整的熱處理系統,具有精確的熱控制、精確的溫度均勻性和快速的循環時間。SVG VTR 7000是一種高科技擴散爐,旨在提供卓越的擴散性能和改進的大氣控制能力。AVIZA VTR 7000具有3.7千瓦管狀燃氣紅外加熱器和六個短長度的分線圈紅外加熱器,它們安裝在兩個4.1英寸厚的陶瓷纖維絕緣熱壁之間,可以控制溫度在1°F範圍內的傳播。此外,VTR 7000還配備了高級PID/fuzzy邏輯控制器,可為各種應用程序提供精確的溫度設置、快速的響應時間和可重復的結果。THERMCO VTR 7000還裝有一個水冷擴散室,配有壓力敲擊閥以監測真空水平。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還包括幾個附件,以方便使用並啟用濕式化學等特殊工藝。附件包括用於快速加載晶片的錐形真空鎖、二極管接觸加熱器、真空密封件、壓力調節閥以及用於可靠沈積易碎材料的自動化材料處理裝置。SVG VTR 7000是一款先進的熱加工機,旨在提供卓越的質量和性能。該工具非常適合廣泛的應用,包括半導體、光電和光電器件制造,以及陶瓷和玻璃制造。AVIZA VTR 7000還適用於熱和機械應力控制測試、功能性膜的化學氣相沈積(CVD)以及其他復雜研發等一系列定制應用。VTR 7000能夠在高達2800°C的溫度下執行擴散過程,並具有快速的溫度斜坡速率和較短的周期時間。它還提供了廣泛的保護功能,以確保安全和盡量減少發生事故的可能性。其中的安全功能包括過電流和過溫保護、熱耦合關閉、緊急加熱關閉以及可視警報資產,以提醒您註意任何故障。THERMCO VTR 7000也是用戶友好型的,並附有廣泛的軟件功能和程序,旨在優化生產過程。軟件功能範圍包括自動前端編程模型、實時監控、周期排序、多種產品配方和一系列預設命令。所有這些功能使SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000成為高效且用戶友好的熱處理設備。
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