二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811744 待售
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ID: 293811744
晶圓大小: 8"
Low‑Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) vertical furnace, 8"
Dual cassette tree
Processes: Poly, Nitride, and combination.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種擴散爐和附件套件,用於在一系列半導體材料中加工晶片。這種設備非常適合實現半導體的高質量、受控摻雜水平,因為它提供高溫均勻性和熱管理。SVG VTR 7000的擴散爐具有全封閉、水冷的設計,允許精確的溫度控制和低熱漂移。先進的數字溫度控制器提供精確的溫度設置和傾斜能力。AVIZA VTR 7000還利用多個熱電偶探頭在爐內提供均勻溫度。VTR 7000包含幾個附加組件,以提供完整的熱管理系統。其中包括一個排氣鼓風機歧管、門互鎖單元和能源管理系統。排氣鼓風機設計用於提取多余熱量,從而實現更高效、更均勻的熱管理。門鎖工具可以用來限制進入爐子內部,從而確保人員安全,同時增加爐子的壽命。最後,能源管理資產有助於降低用電量,提高運行效率。THERMCO VTR 7000具有用於測量入射晶圓溫度的紅外高溫計,以及用於目視監控的石英觀察窗口。此外,SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還為定制工作單元提供了多種選項,其中包括領先半導體制造商提供的兼容加載和卸載系統。這樣可以輕松安裝並提高流程效率。最後,SVG VTR 7000為半導體工業中的精密擴散爐工藝提供了所有必要的部件。其雙區設計和紅外高溫計,結合先進的傳感和控制元件,確保了半導體材料的精確和可重復的熱管理。此外,各種兼容的裝卸系統可以提高工藝效率。這使AVIZA VTR 7000成為那些希望在最高級別上實現精度和效率的用戶的理想選擇。
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