二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811745 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 293811745
晶圓大小: 8"
Low‑Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) vertical furnace, 8" Dual cassette tree Processes: Poly, Nitride, and combination.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是為廣泛應用而設計的擴散爐及附件封裝。SVG VTR 7000具有冷墻設計、高速裝載能力,溫度在800°C至1300°C之間。高效、易於使用的界面和自動化過程使這種設備成為摻雜劑擴散、低k介電沈積和橋接等應用的絕佳選擇。AVIZA VTR 7000配備了高真空對流泵房,提供出色的過程控制和可重復性。擴散前體和摻雜劑可以通過氣體管線註入室內,過程氣體被燃燒到預設壓力。憑借先進的溫度和壓力控制,THERMCO VTR 7000允許在摻雜過程中快速斜坡上升和冷卻。高速雙級密封機構允許晶片和元件的重復、高效的裝卸。VTR 7000還具有全方位的附件,包括柔性隔熱罩、用於溫度控制和調節的雙熱電偶、摻雜劑供應端口、負載鎖定系統、負載端口站、惰性氣體註入系統和真空計。還包括一個沈積後烤箱,以及各種溫度預設和石墨敏感器。所有這些特性共同創造出適合各種應用的可靠和可重復的摻雜過程。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是各種電子和半導體應用的擴散爐及配件的絕佳選擇。它提供了可靠、準確和可重復的結果,這要歸功於動態溫度和壓力控制以及高效的大氣控制單元。廣泛的配件範圍允許用戶調整機器以適應特定的需求,確保質量結果。如果您知道SVG VTR 7000旨在提供可靠的性能,而又不影響安全性或準確性,那麼您就可以放心了。
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