二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #68580 待售
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已售出
ID: 68580
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Anneal vertical furnace, 8"
Specifications:
Wafer size: 8"
4-Cassette load arrangement
Maximum wafer load: 160
2-Boat / single tube system
3-Zone heating element
Anti-static system
Heat deflector option
Pressure control to 2 Torr
MKS 652 pressure controller
Single disk floppy recipe system
Quartzware set
Gas system:
MFC 1: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 2: UNIT 1268A 20slm H2
MFC 3: UNIT 1268A 20slm 10%H2/N2
MFC 4: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 7: PORTER 200slm N2
Power requirements: 208V, 100A
1995 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是為高精度爐需要而設計的擴散爐及配件。該設備是為難以達到耐受性要求嚴格、尺寸多樣的樣品而設計的。它是工具和設備制造商的理想工具,他們在制造產品時需要高標準的精度和精確度。SVG VTR 7000設計用於使用單個或多個加熱循環來執行廣泛的擴散爐過程,如退火、氧化物、氮化和其他相關過程。AVIZA VTR 7000配備了多種功能以提高流程效率。采用不銹鋼結構,采用高功率射頻感應加熱器等先進技術,保證樣品的最佳性能和均勻加熱。它包括一個先進的自動過程控制器,在過程參數的編程中實現最大的靈活性。它還提供了一個直觀的用戶界面來輕松調整設置。該系統100%自動化,為各種工藝提供了良好的環境,包括退火、氧化、氮化、濺射沈積等。THERMCO VTR 7000提供寬廣的溫度範圍,高精度為0.1%。它配備了計算機控制的安全裝置,包括互鎖、防止溫度超調和冷卻保護,以確保安全和能效。VTR 7000的擴散器硬件采用高級材料設計,具有廣泛的擴散功能。它提供卓越的可靠性和性能。通過提供各種尺寸和設計,可以定制擴散器硬件以滿足任何應用程序要求。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000提供了一個預定義過程和配方的綜合庫,用於各種熔爐任務的快速輕松設置。它還允許為最先進和最復雜的應用程序輕松導入附加的進程參數數據。機器可以很容易地集成到客戶的生產線中。為了靈活和方便起見,該工具可以配置各種不同的附件。其中包括自動裝卸班車、快速循環、多溫度和自動門控制器。附件包還包括一系列加熱元件、工藝監控資產、電源等。簡而言之,SVG VTR 7000是為精確應用而設計的高科技、高效可靠的擴散爐及附件包裝。它提供了最大的靈活性、準確的溫度、先進的安全性和出色的可自定義性。
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