二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9148935 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種頂級擴散爐及附件封裝，其設計旨在增強蝕刻沈積工藝。由於功能廣泛，SVG VTR 7000可用於大多數先進的半導體和電子應用。該單元配備了先進的可控系統，可實現亞微米精度、可靠性和工藝優化。這種高度的精度、控制和性能對於現代半導體和電子元件中發現的精密材料是必不可少的。AVIZA VTR 7000以雙區供熱原理工作，允許更快、更精確的擴散。設備使用兩個獨立的加熱元件均勻分配腔室內的熱量。這種雙區加熱也允許對晶圓或組件的不同區域施加高溫，對周圍區域幾乎沒有熱量損失或失真。VTR 7000惰性氣體流動系統的獨特設計，防止材料進入或暴露於活性區，從而防止裝置堵塞和汙染。這臺惰性氣流機效率高，可支持金屬、多晶矽、玻璃層沈積、薄膜沈積、擴散等廣泛的先進半導體和電子應用。THERMCO VTR 7000具有易於使用的控制控制臺,允許設置和運行自定義自動化進程。由於能夠存儲多個程序,因此用戶在控制工具時具有最大的靈活性。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還配有一系列配件，進一步提升性能。這些附件包括SVG真空控制器、加熱室、加熱元件、氣體入口和腔室溫度控制器。此外,它還提供高精度的熱電偶位置,以實現精確的溫度測量和反饋控制。總體而言,SVG VTR 7000是一種可靠且高度先進的擴散爐,旨在為當今先進的半導體和電子應用提供工藝優化和改進性能。其雙區供熱資產、惰性氣流模型以及一系列配件，使其成為要求最苛刻的半導體和電子項目的絕佳選擇。