二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是為生長薄膜材料而設計的單室水平擴散爐。該擴散爐的最高溫度為2500攝氏度,具有快速熱處理（RTP）功能,可快速加熱和冷卻循環。SVG VTR 7000非常適合要求均勻快速加熱（URH）和精確快速溫度循環的應用。它提供精確控制的熱過程序列和壓力，具有高度的重復性和重復性。AVIZA VTR 7000由純鉬和不銹鋼包覆壁構成。其整體尺寸為10.5 「W x 10.5」 L x 9.9 「H，加熱區為9.90」 W x 9.90 「L x 4.75」 H，由不銹鋼室底座支撐。它具有從大氣到0.7 Torr的額定壓力，需要一個208V的單相電源。THERMCO VTR 7000配備了Nooter-Erickson快速熱處理設備，其中包括一個快速作用的單連接加熱器和基於高速計時器的控制器。加熱器的設計目的是在幾秒鐘內將腔室精確快速加熱到設定溫度水平，控制器的設計是通過內置程序來優化溫度輪廓。該系統還包括2550°C的自動熱關閉開關，以防止爐膛和加熱器過熱。VTR 7000包括帶陶瓷泡泡室的銅焊排氣單元、不銹鋼陶瓷實驗室連接和真空密封。排氣機允許從室內清除幹凈的排放物，防止有毒煙霧進入實驗室環境。此外，石英視口還提供了對工藝室的觀測。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還具有具有數字顯示和數字設定點控制的高精度溫度控制器。溫度可以很容易地從大氣壓調整到0.7 Torr，精度為+/-3 °C，可重復性為+/-0.5 °C。還包括0-50 A.F.功率、數字真空讀出以及可選的強制空氣和氮氣凈化腔室。采用SVG VTR 7000擴散爐及其附件，使得原子層沈積（ALD）和化學氣相沈積（CVD）等工藝比傳統生產方法具有更好的精度和控制。它消除了加工室和加熱器之間溫度的變化，能夠生產出精確和可重復的薄膜。這使得它成為生產薄膜材料的可靠且經濟實惠的選擇。