二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168927 待售
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ID: 9168927
晶圓大小: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: TEOS
(1) Chamber
(1) Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Gas manifold box
TEOS Transfill
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一個擴散爐和附件單元,設計用於半導體基板的經濟高效的工業級加工。該先進爐采用雙用途噴頭和專利通量濃度技術,以最佳的熱均勻性和低顆粒汙染提供精確的過程控制。SVG VTR 7000具有可靠的高溫設計,最高溫度可達1200 °C。堅固的爐膛采用重型高溫絕緣材料建造,以最大限度地提高性能,確保溫度保持控制和一致。先進的控制設備提供精確的反饋來調節氣體流量、壓力和溫度,以確保準確的工藝結果。它還具有用於顯示參數讀數的數字顯示,以及用於在發生意外結果時通知用戶的警報監視功能。AVIZA VTR 7000包括利用惰性氣體優化工藝溫度的高效加熱系統。優化的設計提高了預編程程序的效率,並減少了設備停機時間。此外,先進的冷卻機組減少了熱量的積累,消除了頻繁調溫的需要。VTR 7000還配備了精密氣體控制和均勻氣體分配的專利氣體分配技術。先進的氣體控制機允許用戶手動調整氣體成分,以及根據自己的具體要求設定預定速率。惰性氣體供應也與腔室相連,以確保清潔可靠的運行。提供易於操作的觸摸界面,以便輕松操作和控制過程。總體而言,THERMCO VTR 7000是一種可靠、經濟高效的擴散爐,具有卓越的性能和堅固的特性。利用高品位絕緣材料和先進的氣體控制系統,該裝置提供均勻的熱性能和更高的工藝產量。此外,其直觀的觸摸屏界面和報警工具為用戶提供了有關其工藝狀態的最新反饋,使這一單元成為工業擴散應用的理想解決方案。
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