二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9300429 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9300429
晶圓大小: 6"
Furnaces, 6".
SVTSVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是用於現代材料加工的最先進、高度先進的擴散爐及配件。它是為快速熱處理(RTP)的材料,包括矽,砷化氙,金剛石和其他對高溫敏感的化合物設計。為了達到準確性、安全性和效率的最高標準,對這一具體設備進行了改進。SVTSVG VTR 7000具有高容量四噸爐膛,最高溫度為1000 °C。系統還有兩個獨立控制的溫度區。這提供了精確、一致的溫度控制和整個產品表面的均勻加熱。Vari-Overhead Rate Control (VORC)技術允許用戶以0.1°C的精度改變腔室溫度,使其成為開發新材料和產品的理想工具。SVTAVIZA VTR 7000還具有獨特的多區傳輸機制,可確保材料的有效進出,而不會對材料造成任何不必要的壓力或撕裂。這種獨特的裝置也保證了爐內恒定、均勻的溫度控制。該機還擁有一個先進的密封真空工具,它允許包括分子層外延(MLE)和原子層沈積(ALD)在內的一系列超高真空壓力過程。資產還有一個氣體註入模型,以確保從產品中完全清除揮發性氣體。除了這些功能外,SVTTHERMCO VTR 7000還配備了多項安全和通信功能。其電爐和溫度控制設備旨在監測電流、電位、相位和功率,確保人員和設備的安全。該系統還有一個計數器單元和一個聽覺和視覺警報,當溫度超過其預定義的安全限制時向工作人員發出警報。總體而言,SVTVTR 7000是一款強大創新的擴散爐及配件機。其高容量四噸爐膛、精密溫度控制、UVP兼容性和眾多先進安全特性的結合,使其成為先進材料加工研究應用的理想工具。
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