二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9313214 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是專門為擴散和退火半導體器件而設計的擴散爐及配件。該擴散爐設計用於快速熱退火和低溫擴散過程，能夠執行各種不同的過程，包括快速熱退火（RTA）和低溫擴散。它配備了先進的紅外燈，可以發出兩種工藝所需的精確溫度。SVTSVG VTR 7000還有一個內置的溫度控制器，使其能夠精確控制燈的溫度，確保始終達到所需溫度。另外，這種擴散爐通過在爐房中加入各種化合物，能夠進行氣體擴散。它具有高速氣體分配系統，確保在氣體擴散過程中能準確提供精確數量的不同化合物。它還能為特定過程提供高達25%的氮氣氣氛。SVTAVIZA VTR 7000具有兩級門設計，可以讓腔室快速安全地打開和關閉。這消除了對笨重工具的需求,並通過消除對該地區人員的需求來提高安全性。此外，車門還設有先進的安全互鎖系統，在車門打開時立即關閉給爐子的主電源。SVTTHERMCO VTR 7000具有直觀的觸摸屏控制界面，便於配置和操作。它還包括一個內置的數據記錄器，可以記錄來自反應室的數據，並允許用戶分析數據。最後，爐子內置警報，提醒操作員任何問題，如電源故障、室內溫度過高或過程錯誤。總體而言，VTR 7000是一種先進的擴散爐及其附件，設計用於快速熱退火和低溫擴散過程。它具有一個創新的紅外燈和溫度控制器的精確控制燈和氣體擴散系統的精確數量不同的化合物。它還具有安全的兩級門設計和易於配置操作的直觀觸摸屏控制界面。最後，內置的數據記錄器允許用戶記錄和分析數據，而爐子也有針對各種可能問題的內置報警。