二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9354435 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9354435
晶圓大小: 8"
Vertical anneal furnace, 8" SMIF Carousel deck has been removed.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是為半導體生產和快速熱處理應用而設計的擴散爐及設備配件。SVG VTR 7000是一款具有觸摸屏控制、溫度設置範圍廣、尺寸為36 "x 20" x 21"的節能、性價比高的熔爐。AVIZA VTR 7000是一種3區高端爐,配有計算機控制的操作員界面。這樣可以精確控制所有功能任務,包括使用多個會話控件和可重復的流程功能進行可編程排序。用戶友好的控制界面允許簡化操作,同時適應各種標準和自定義設置。該爐采用耐用且耐腐蝕的耐火材料制成,具有防反射的黑色飾面,可確保爐的最大性能,並將熱損耗降至最低。THERMCO VTR 7000還設計了耐用的金屬結構和可調節的底座,以確保穩定性和準確性。包括退火護罩以防止汙染。VTR 7000配備了長壽命的Quartz加熱元件,可實現高達1000 °C的最高溫度設置。它即使在最高溫度設置下也能提供出色的溫度控制,並提供快速的加熱和冷卻操作,在整個腔室內實現+/-5°C的溫度均勻性。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000還提供了實驗室級熱電偶、氣體流量和溫度的系統監控、具有獨特鎖定機構的雙門系統以及具有積極關閉功能的內置安全系統等一系列附加功能。該爐還能夠容納各種工藝容器,其負載傳感器可用於檢測負載重量的變化。SVG VTR 7000是半導體生產的理想解決方案,提供了工藝時間快、功耗低、安全性高等一系列功能和優勢。該爐旨在以經濟高效的方式提供卓越的性能,幫助客戶最大限度地提高生產效率並降低運營成本。
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