二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9361390 待售

ID: 9361390
Vertical furnace.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種擴散爐及配件,設計用於在各種材料和應用中實現高質量的擴散應用。該設備包括擴散爐和控制器、支撐架、氣流控制器、腔室隔離歧管、蝕刻/離子源、冷卻系統和腔室屏蔽。擴散爐提供高達2000°C的精確溫度控制,並具有廣泛的參數。控制器允許對腔室大氣層進行調整,其中包括氮氣、氙氣、形成氣體、氫氣等多種氣體。該擴散爐具有脈沖調頻電源,可實現較高的坡道速率和較快的溫度脈沖,以進行高級控制。機架允許放置爐子和其他支撐設備,如氣流控制器、離子源和冷卻系統。包含在SVG VTR 7000單元中的氣流控制器,提供了對腔室大氣的精確控制,使用了多種氣體。腔室隔離歧管將腔室與大氣隔離開來,允許連接多種氣源,而不會有泄漏的危險。蝕刻/離子源用於在腔室內創建陣列,如蝕刻和離子銑削。離子源用於創建聚焦等離子體流,這有助於形成精確的模式。冷卻機有助於確保刀具的使用壽命。水冷換熱器有助於保持腔室的一致性,使溫度能夠有效地處理。隔熱罩對於隔熱和保護隔熱罩免受熱沖擊或輻射也是必不可少的。AVIZA VTR 7000是一種強大可靠的擴散爐及配件資產,可用於多種材料和應用。其提供高達2000°C的精確溫度控制的能力和廣泛的參數使其成為先進擴散方法的理想選擇。支撐架、氣流控制器、蝕刻/離子源、冷卻模型和腔室屏蔽都使這一設備成為高質量擴散應用的完整系統。
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