二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9384781 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種擴散爐及附件系統，可用於多種過程，包括氧化、氮化、重結晶、植入和退火。SVG VTR 7000能夠達到高達1200oC的處理溫度,並且設計為在惰性或還原氣氛中運行。該系統配置有高溫電源、選擇器閥箱、吹掃箱以及速度和流量可調節的循環鼓風機。AVIZA VTR 7000采用三相電源運行,視應用情況而定,可能需要真空泵來控制大氣。該系統具有石墨熱區和氣流分布器。氣流分布器為氣體均勻流過熱區提供了均勻的溶液，最大限度地降低了較大排氣部件的進入速度。熱區還設有感應加熱線圈，提供快速和外部可調的加熱輪廓。VTR 7000還利用可編程邏輯控制器（PLC）和溫度控制器在過程中進行一致的溫度控制。THERMCO VTR 7000配有各種配件，包括石英管加熱器、熔工、石英管、連接法蘭、溫度探針、真空密封等。這樣可以增強功能範圍和多功能性。此外,它還具有多種安全功能,可確保安全運行,包括可調節的速度再循環風扇、門互鎖開關和緊急停止按鈕。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000非常適合需要精確溫度控制和大氣清潔的應用，例如加工半導體基板，以及其他涉及高溫金屬和陶瓷基板的應用。SVG VTR 7000專為高效運行而設計，是擴散爐應用的絕佳選擇。