二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9398904 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一種可靠且用途廣泛的擴散爐及附件系統。它經過特殊設計，能夠快速準確地將高溫和非常薄的介電層沈積到各種各樣的自旋均勻層上。這種擴散爐常用於半導體、光伏、LED、LED封裝和光學塗層行業。SVG VTR 7000為封閉式通風模塊化腔室配置。它提供四個受控環境過程室，每個室可以獨立控制每個過程步驟。四室分別是預熱室、退火室、擴散室和氮化物室。腔室配置旨在減少對揮發性有機化合物（VOCs）的暴露，並提供安全的工作環境。AVIZA VTR 7000的預熱室設計用於預氧化和擴散，溫度範圍為350-800°C （662-1472°F）。該室用於在任何工藝步驟之前為表面準備和預處理提供必要的環境。在這個室內，基板在整個區域內迅速均勻地加熱。退火室設計用於熱退火和表面氧化，溫度範圍為350-900°C （662-1662°F）。此腔室用於設置晶圓的溫度並啟動後續過程。該室還實現了更好的氧化均勻性和更高的氧化應力穩定性。擴散室設計用於漂移氧化和擴散，溫度範圍為400-980°C（752-1796 °F）。這個腔室創造了一個低壓梯度環境，利用惰性氣體和惰性氣體組合沈積介電層。它還為漂移氧化和摻雜物質擴散到矽層創造了必要的環境。氮化物室設計用於氮化物退火和表面保護，溫度範圍為400-950°C（752-1742 °F）。該腔室進行漂移後氧化氮化物退火，保護表面不受進一步氧化。THERMCO VTR 7000每小時提供高達1400個基材的總吞吐量,在4英寸晶圓上薄膜厚度均勻度± 2%（1 σ單偏差）,並且能夠沈積非常薄的層（低於25海米）。該系統還配備了自動晶圓傳輸盤、快速冷卻功能、自動電阻測量以及連接PC進行數據記錄的能力。這種可靠、經濟高效、高性能的擴散爐及配件系統是任何現代加工環境所必需的。VTR 7000具有嚴格的過程控制和總吞吐量功能,是各種應用程序的出色擴散設備。