二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7107 TOX #26400 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7107 TOX
ID: 26400
晶圓大小: 6" 8"
Vertical Furnaces, Wet / Dry Oxide, 6", can be configured to 8" capability Gas system can be configured As is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOX是一種高性能、節能的擴散爐,具有卓越的設備效率和一系列專用擴散應用的附件。該設備為單個組件或多個組件的擴散提供了兩種不同的技術選擇,並包括一個先進的、由計算機控制的過程控制系統。SVG VTR 7107 TOX由堅固的高級材料打造而成,包括不銹鋼和陶瓷基元件,提供出色的耐熱沖擊能力。它有一個擴展的雙區加熱室,溫度控制高達1,077 °C,同時還利用空氣對氣體的再燃燒來確保有效和均勻的熱分布。該裝置還具有獨立或連體的大氣、可移動面板和集成的清除開關,以提供高效和安全的處理。作為一個附加組件,AVIZA VTR 7107 TOX配備了一個高效的熱管理單元,旨在將能耗降低30%。其高性能渦輪風扇能夠調節精確的溫度控制,能夠獨立於工作溫度而保持工藝溫度。該裝置還配有可調節的支撐機和氣體噴嘴,以便更好地定位零件,並在腔室內形成均勻的大氣壓。VTR 7107 TOX提供的擴散功能通過大量附件列表得到進一步增強。其中包括旨在將熱量均勻地分布在擴散室周圍的石墨敏感器,提供有效加熱和冷卻的冷壁襯裏,以及有助於保持清潔和健康氣氛的電離器和臭氧發生器。THERMCO VTR 7107 TOX是需要精確、節能和靈活工具的廣泛擴散應用的理想選擇。它的頂級供暖和擴散能力提供所需的質量,以確保可靠和可重復的結果。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOX憑借其持久的組件、先進的可控工藝以及令人印象深刻的配件選擇,是各種擴散應用的理想選擇。
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