二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR #9278764 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR
ID: 9278764
晶圓大小: 6"
Furnaces, 6" 1997-2006 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR是一種擴散爐及其配件,從單門設備到三門設備不等。該系統為各種材料提供快速、高效的熱處理,從單晶矽晶片等單個基板,到基板或3D對象等較大框架。SVG VTR的核心部件是一個具有左右加載的無熔爐、高分辨率觸摸屏控制器和高精度溫度控制程序。該單元具有一個交互式圖形,顯示正在使用的時間溫度程序,並且可以在其內存中存儲多達99個程序。它還配備了電子數據記錄器,用於監測和記錄熔爐的運行情況。AVIZA VTR提供了可靠和快速的加熱循環,在嚴密監控的環境中創建了均勻的溫度剖面。機器的最高溫度在空氣大氣中為1600°C,在氮化物大氣中為2400°C。多區溫控以其雙區溫控端口進行數字化設置,精確監控溫度剖面,消除了溫度梯度。為確保高質量的熱處理,THERMCO VTR工具具有集成的再循環資產,在爐膛內保持均勻的溫度和均勻的氣氛。此外,該型號還配備了用於冷卻的高性能徑向風扇,可確保嚴格控制溫度輪廓並縮短冷卻時間。此外,為了保證用戶的安全和工藝的精確度,VTR配備了自動調平功能和兩個強大的升降筒,以保持基板平臺水平。此外,SVG/THERMCO/AVIZA VTR憑借其排氣泄漏檢測技術、高壓關閉開關和先進的電力防護設備,與其他系統區別開來。SVG VTR系統是提高熱處理效率和精度的終極解決方案。AVIZA VTR簡化了安裝過程,提供了更高的運行可靠性,並通過其高效的監控功能優化了熱過程質量。THERMCO VTR具有精確度和精確度,是材料熱處理的最佳選擇。
還沒有評論