二手 SVG / THERMCO Ranger 3000 #9256561 待售

SVG/THERMCO Ranger 3000是一種適合晶圓和模具級半導體加工應用的擴散爐及附件封裝。SVG Ranger 3000是兩家領先的微波設備制造商合資的結果,它提供了廣泛的功能和優勢,以支持當代應用研究、材料加工和產品原型設計要求。THERMCO Ranger 3000是一種先進設計的連續流擴散爐，具有極好的均勻性和經濟的沈積速率。這種可控擴散爐的設計目的是在一個擴展的過程溫度範圍內提供精確的物理氣相沈積特性。該設計包含一系列高級功能,如直接驅動電機和雙溫度控制區,以確保最佳的擴散性能。熱電偶監測和閉環控制選項允許從爐膛直接反饋，提高沈積和退火應用的精度和準確性。這種高精度的設計還有助於降低熱波動風險，確保可重復的晶圓級結果。遊俠3000還具有寬動態溫度範圍（600°-1200 °C），精度為0.1°C，多種氣源和氣體混合性，以及寬帶隙動態流量平均技術，允許均勻的原位軸向溫度剖面。SVG/THERMCO Ranger 3000包括一系列配件，包括石英火炬、樣品籃、支架、支撐桿和可靠的射頻阻抗匹配系統。石英火炬與擴散源相結合，以精確沈積均勻的沈積層，而輔助部件設計為高效加工和放置晶片進行沈積。隨附的射頻阻抗匹配系統在各種沈積過程中表現出色，為晶圓和模級基板提供了高效、準確的辨別。總而言之，SVG Ranger 3000是一種先進設計的連續流擴散爐和附件包裝，非常適合廣泛的研究、材料加工和產品原型設計應用。精確的物理氣相沈積特性，出色的均勻性，精確的溫度控制，以及一系列的配件，使得這套系統成為一個可靠、經濟實惠的解決許多當代半導體需求的方案。