二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477 待售

TEL Alpha 8SE（N2LL）擴散爐是一種用於半導體加工的頂級工具，在溫度、壓力和流量等關鍵參數上提供精確控制。有了一個封閉的不銹鋼腔室，Alpha 8SE能夠在多種氣氛下操作，以適應不同類型的加工。一種新設計的紅外加熱設備提供均勻的熱分配，均勻的過程和快速的回收，以便快速接合。Alpha 8SE還通過使用獨立的PID溫度控制器和計算機控制系統提供高精度溫度控制。專為全晶片加工而設計的Alpha 8SE具有一個內室,允許使用不同類型的設備和配方,並且易於更換以升級設備或用於不同配方。為了獲得更大的靈活性,可以按特定的順序設計定制的系統,並可以針對最大的靈活性和性能進行定制。為確保操作員安全,Alpha 8SE具有增強的保護系統,如內置防泡室和多軸運動監控系統以及平面可視監控系統。通過使用機器人加載單元（REX）確保了快速和精確的原位加載,該單元可以模擬各種晶圓大小並輕松處理易碎的基板。對於均勻處理，快速氣體輸送機提供更均勻的N2和Ar等氣體流動，而集成的低質量氣體閥則允許對氣體流動進行高度控制。Alpha 8SE的設計還考慮了可訪問性,允許輕松安裝、操作和維護,並具有易於閱讀的可視化窗口和內置遠程接口,便於從遠程計算機進行訪問和操作。此外,此工具還具有可視化的警告資產、冗余溫度傳感器和雙緊急關閉按鈕,可實現最大的安全性和可靠性。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE（N2LL）擴散爐是為半導體加工提供精確控制的高性能工具，具有眾多的安全特性。此模型具有一系列復雜的功能,為眾多應用程序提供了強大而高效的擴散解決方案。