二手 TEL / TOKYO ELECTRON 803 #9254675 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 803是一種單晶圓擴散爐及相關配件。它利用圓柱形的空腔，其中晶圓放置在底部內部和加熱使用底部邊緣冷卻爐膛設計。高溫單晶片擴散爐容量高達1150°C，均勻度± 3°C，是半導體工業氧化擴散過程的理想選擇。該爐具有易於操作的PLC（可編程邏輯控制器）,具有自動O2流量測量和控制裝置以及真空密封附件,用於快速熱過程啟動和端點檢測。該爐還有一個Mobile-ENDIS熱屏障，這種裝置通過在過程操作過程中保持熱屏障的均勻性來幫助減少能量浪費。用戶友好的圖形用戶界面（GUI）允許輕松設置工藝溫度和氣流。可編程邏輯控制器可確保對過程參數的精確控制。TEL 803設有對流系統，旨在透過爐內循環空氣，減少能量消耗，最大限度減少湍流和熱量流失。TOKYO ELECTRON 803還具有一個VCR-40測量端口,可確保操作過程的均勻性,以及用於晶圓容納和手動加熱速率調整的冷卻板組件。VCR-40口能夠監測爐溫的均勻性和工藝氣體中摻雜劑的化學濃度。它還允許對數據記錄進行詳細分析。803還具有遠程流程監控系統以及基於PC的軟件,用於處理和展示使用數據和流程信息。遠程流程監控系統允許在沒有人工幹預的情況下對所有操作參數進行連續監控。TEL/TOKYO ELECTRON 803還附帶了先進的溫度控制、Oxidation Armor技術、易於進入的檢查窗口以及工藝氣體診斷等多項附加功能。所有這些特性結合在一起，產生了一個高效、用戶友好的擴散爐，旨在滿足現代半導體工業的需求。