二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN #9381808 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN
ID: 9381808
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: VOS-56-003 Gas: NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN是一種用於制造高質量、集成電路元件的擴散爐及附件。在日本設計制造,TEL A303I-KVCKN是一個強大而高效的擴散處理系統.TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN由四個主要組成部分組成:一個可以達到1150°C溫度的垂直爐、一個石英管狀蒸發器、一個垂直磁化器以及一系列的撇渣器和濃縮器工具。垂直爐用於創造加熱環境,有助於確保溫度和過程控制均勻。石英管狀蒸發器蒸發源材料,然後由垂直敏感器控制,可以傾斜調節整個過程中材料的濃度。撇渣器和集中器工具協同工作,確保材料的精確分布,以優化表面均勻性,並堅持所需的電性能。A303I-KVCKN可用於各種應用,包括生產用於光伏的高密度、薄膜層、電子設備制造和集成內存組件。它使晶片制造具有成本效益,可用於平面和溝槽隔離、退火、熱氧化、氮化物摻雜和擴散等短期過程。此外,TEL/TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN與一系列材料兼容,包括高純度二氧化矽和矽。除了強大高效的性能外,TEL A303I-KVCKN還具有多項功能,可確保最佳的過程控制和安全性。它配備了一個5軸可移動的機械手,用於精確的晶圓運動,以及高度精確的溫度控制。此外,TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN設計具有出色的輻射屏蔽,防止材料泄漏和防止輻射暴露。A303I-KVCKN是優質集成電路元件生產過程中理想的擴散爐及配件。它提供高性能、精確度和安全性,以確保最佳的過程控制。
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