二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630204 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種高度專業化的擴散爐及附件，旨在為涉及高性能薄膜擴散的工藝提供廣泛的應用和解決方案。通過使用一個三區大氣室，使其具有更好的加熱均勻性和最佳的傳熱特性，使其能力成為可能。這種擴散爐非常適合先進的差分外延工藝研究，薄膜裝置的產量提高，以及生產優越的超純工藝。TEL A303i具有直觀的用戶友好圖形界面,可以對其進行定制,以確保以最高精度執行每個過程。TOKYO ELECTRON A 303 I配備先進的四波平行可伸縮線圈，為優越的氧化物型材提供均勻的熱分布。此外,還采用超高速技術提供高速熱處理,每秒可達到6500 °C的溫度。這樣可以加快流程周轉時間,同時仍能獲得最佳流程結果。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I也可以擴展用於更復雜的應用，如晶圓嵌入、反應性離子蝕刻、植入。此外,它令人印象深刻的功能還得到了先進的訪問控制系統的補充,該系統使用加密存儲來保持文檔的私密性和安全性。303 I也是為了堅持嚴格的安全標準而設計的。高質量的材料用於與所用材料直接接觸的部件，以及經受極端溫度和高真空的部件。這保證了TOKYO ELECTRON A303i安全運行，符合最高質量標準。TEL A 303 I的總體設計改進了過程控制,同時提供了靈活性和高級功能。它的用戶友好界面為擴散爐操作提供了一種高效、安全的方法，使其成為產生一流效果的最佳選擇之一。