二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是為氧化、退火、擴散和高分辨率金屬化等低溫過程而設計的擴散爐設備。該系統采用爐膛，設計用於提供均勻的溫度分布，控制單元用於調節熱量輸入，阻燃單元用於限制燃燒排放。這個擴散爐的溫度範圍高達1250 °C，最大負荷為4.5kg。它是一種先進的易於操作和維護的擴散爐。它包括安全防護罩和定期維護的自動清潔模式。TEL A303i的控制機提供了精確控制溫度、時間、大氣和加熱元件響應的能力。它還提供了允許精確測量和數據記錄的流程監控功能。這種擴散爐工具也被設計成提供各種各樣的氣體和真空監測選項，允許最佳的過程控制。除了其先進的特性外，TOKYO ELECTRON A 303 I擴散爐還配備了廣泛的配件。這些附件包括最多15種晶片的晶片載體、氣動材料裝載資產、自動防護罩和一整套安全設備。TEL A 303 I擴散爐還設計了具有高速晶圓傳輸和預編程過程循環等特點的最佳生產率。爐蓋采用三層絕緣設計，提供了最佳的溫度控制和節能設計。總體而言，A303i是為精確的過程控制、安全和能效而設計的高性能擴散爐模型。其最先進的技術使其成為尋求以精確和高效的方式執行低溫過程的企業的理想選擇。