二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種擴散爐及配件，旨在滿足當今集成電路（IC）制造工藝的需要。它在極低溫度下提供高質量的沈積，具有極好的均勻性。TEL A303i采用精心設計的低熱質量（LTM）設計,可縮短熱循環時間。擴散過程由一個計算機化的過程控制器控制，該控制器指導和監測過程的所有功能，從溫度設置到工藝配方。專門的TOKYO ELECTRON A 303 I擴散器熔爐是以低熱質量的設計來構造，以最大限度的熱均勻度跨越基板。這種crucible允許溫度高達1090攝氏度，同時最大壓力高達80托。此外，crucible還具有一對水平對置的石英燈，可實現脈沖氮負荷（PNL）傳輸系統。PNL確保反應室的精確定位，防止反應幹擾。此外,TEL A 303 I配備了多種配件,確保了最佳的過程控制和性能。其中包括LoadLOCK端口隔離模塊，它提供了一種安全、可靠的方式將底物裝載到反應室中，而不必擔心旋轉腔室。雜質氣體和其他反應性氣體的引入由原子層輸送（ALD）系統處理，該系統可編程為提供精確控制的原子層氣體用於沈積過程。為了實時監控流程參數,A 303 I配備了高級數據采集系統（DAS）控制器,可實現可靠的實時反饋和多達16個參數的記錄。這包括氣壓、基板溫度、腔室溫度等隱藏參數。TOKYO ELECTRON A303i專有的真空超精細控制（IVAP）體驗在設置過程時提供了極致的精確度和準確性。通過最多可設置六個參數,IVAP允許用戶實時監視和調整其流程。總之，A303i是一個先進的擴散爐和配件，提供無與倫比的精度和精確度。以其低熱質量設計、PNL傳輸系統、精確控制系統，是IC晶圓廠實驗室尋找卓越性能的完美工具。