二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801901 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是為方便半導體晶片的高效加工而設計的擴散爐及配件。它設有高溫大面積加工室，溫度可達1150 °C。該腔室的設計側重於均勻的溫度分布，允許一次對多個晶片進行精確高效的處理。配備先進的數字控制設備和用戶友好的操作員界面，便於設置和操作。真空系統提供了最小的壓力梯度和允許更長的過程時間與較少的熱降解晶片。它具有壓力控制、溫度穩定和遠程訪問等高級功能。冷卻器是內置的，以盡量減少冷卻劑損失和防止擴散過程中過熱。TEL A303i還包括全面的流程監控能力，如氣流和溫度剖面，可用於維持最佳條件，以獲得完整和準確的擴散結果。此外,該設備還配備了石墨敏感器,以實現可靠的可重復工藝結果。它還支持最多四個工藝模塊和1150°C的最高工藝溫度。安全方面，TOKYO ELECTRON A 303 I完全認證符合UL標準和UL 508C要求。配備聯鎖機和過溫防護機構，確保操作員安全。該工具設計用於最小程度的維護,並且所有組件都可以以最小的工作量拆卸和重新組裝。它還配備了電湧保護裝置，以防止發生停電時損壞。總體而言，A303i是一種可靠且功能豐富的擴散爐和附件，設計用於半導體晶片的高效和精確處理。它具有氣流和溫度剖面、壓力控制、溫度穩定、遠程訪問和電湧保護等高級功能,可實現最佳和可重復的工藝效果。它還獲得了UL認證，並配備了先進的安全功能，使其成為要求苛刻的半導體制造的經濟高效的解決方案。