二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293807098 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是用於制造半導體器件的擴散爐及其相關配件。它是專門為以可靠和可重復的方式提供清潔、均勻的擴散過程而設計的。TEL A303i可以將晶片加熱到1150˚C的溫度,並且能夠處理直徑不超過8英寸的晶片。TOKYO ELECTRON A 303 I利用集成的單晶石墨熱區和共晶液態合金技術，在熱區內提供極好的均勻溫度分布。獨特的「超速」盤旋轉設備確保腔內溫度均勻，減少石墨侵蝕。它還有一個集成的「脈沖」氣體輸送系統，可用於精確的氣流控制。該裝置還配備了車載真空機，以提高工藝精度和可重復性。擴散爐配有先進的計算機接口，可以精確控制過程變量。此計算機界面包括流程監控和數據記錄功能，使用戶能夠輕松跟蹤每個處理步驟的進度。該工具還通過使用高級傳感器和熱電偶提供實時反饋。為了提高安全性,TEL A 303 I還配備了緊急停止按鈕、過熱保護資產和緊急檢查閥。這些功能共同確保在發生緊急情況時自動關閉模型。除了這些功能外，A 303 I還配備了許多有用的配件。其中包括一個額外的石墨熱區、一個裝載站和一個滅火站。這些附件為加工絕緣子矽（MOI）晶片以及晶片測試和分析提供了更多的選擇。TOKYO ELECTRON A303i提供的高級特性和配件相結合，使其成為一系列半導體制造工藝的理想選擇，如光學傳感器和IC封裝產品的單細胞晶體管的自動集成。它是可靠和可重復生產光電二極管、CCD和其他IC的重要工具。