二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9235193
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" Process: DIFF 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是用於集成電路制造的先進擴散爐設備。該系統由擴散爐室和相關加工設備兩部分組成。擴散爐室設計為空氣密封和真空密封,溫度可達1550攝氏度。該機配備了特殊的大氣控制機,以維持所需的處理大氣層。該腔室由兩個不銹鋼、鈦或的殼制成。腔室內部鍍有陶瓷塗層。這種塗層含有碳化鈦納米膜,設計用於防止加工過程中的氧化。腔室還配有石英窗,允許傳輸用於監控加工進度的光。擴散爐工具還包括一些允許進一步加工的配件。這些配件包括伸展臂、百葉窗、探針組件、邊緣密封板、刮下的樹脂和加熱元件。探頭組件允許對內室進行精確的樹脂操作和應用。一條惰性氣體供應線作為附加安全措施連接到腔室。邊緣密封板附著在腔室開口上,旨在減少來自外部來源的汙染。刮下的樹脂用於減少粘附在腔壁上的材料造成的汙染。加熱元件用於均勻加熱腔室,保持一致的加工環境。TEL A303i是一種非常可靠且易於使用的擴散爐資產.它是為制造先進的集成電路和其他專門的微電子元件而設計的。這是一個強大的模型,設計了一個長使用壽命和低維護要求。
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