二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241289 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9241289
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Vertical diffusion furnaces, 12" 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i Diffusion Furnace是一種強大的實驗室設備,用於沈積在基材或其他材料的表面上,一層薄薄的材料。它非常適合於需要精確溫度控制的應用,如生產復合半導體,或用於生產使用包括金剛石薄膜在內的各種材料的其他設備。TEL A303i是一個水平爐子,有一個單一的加工管,裝在鈦合金外殼中。它是水冷循環冷卻,並含有石英密封電阻加熱元件。最高工作溫度1300 °C,溫度均勻度± 5°C。外板采用304和321不銹鋼制成。該室還由不銹鋼制成,內部有石英管和玻璃羊毛絕緣材料。爐子配有排氣口,設計用於排出過程運行過程中產生的加熱空氣。TOKYO ELECTRON A 303 I附有幾個附件,包括一個自動氣箱、真空分離、一個通風機、一個電源、一個安全閥、一個支撐機構、一個水冷卻入口、一個排氣口和一個控制器。氣箱設計用於混合和控制過程運行中使用的氣體量。真空分離系統用於將廢氣與爐膛分離。它可以有效地清除從爐子排放的空氣中的汙染物。通風機用於調節爐溫。安全閥用於防止系統內的任何過壓,並在溫度升高超過預期水平時作為安全預防措施。電源允許精確控制溫度,而支撐機構則確保爐子在運行過程中穩定。水冷卻入口連接到冷凍供水,用於在整個過程中保持一致的溫度。排氣口與真空系統相連,設計用於清除爐膛內加熱或汙染的空氣,從而防止任何不希望的物質在過程中進入外殼。控制器用於監控和調整溫度,整個過程運行。總之,TEL A 303I擴散爐及其配套配件為薄層材料的沈積提供了可靠、高效的方法。它提供精確的溫度控制和完美的均勻性,同時也符合所有的安全要求。
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