二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241300 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9241300
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Vertical diffusion furnaces, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種擴散爐及配套配件。由於其強大的設計和先進的技術,非常適合需要精確溫度控制和統一處理的應用。TEL A303i采用了可清潔和可更換的石墨腔,為各種工藝提供了經濟的解決方案。設備還利用行業標準環保技術,如氮氣環境清潔,減少大氣汙染,確保高工藝穩定性。系統配備兩個動力元件,提供準確一致的處理。內置的空白石墨元素可以量身定制,以滿足用戶苛刻的工藝要求。該爐采用石墨針式加熱器配置。這個特性使得TOKYO ELECTRON A 303 I成為一種高度可靠和高效的裝置。此外,機組還配備了兩個不同的溫度區,對爐子的整個寬度進行精細的溫度控制。A303i包括一組先進的可編程功能,以幫助實現過程優化和可重復性。這些功能包括集成的表面溫度監測機、自動氣體調節器和可編程LPC3控制模塊。GUI的模塊化設計還允許隨著開發的繼續安裝或添加其他功能。TOKYO ELECTRON A303i具有廣泛的可用配件,可進一步提高工具的性能。這包括一個可移動的架子加熱器、紅外線和紫外線燈、石墨船式籃子、樣品架、熱電偶和自動搖床。這允許用戶根據自己的特定需求自定義資產,同時確保精確且可重復的流程。TEL A 303 I提供卓越的溫度均勻性性能,在標準處理參數範圍內,平均溫度變化僅為2 °C。該爐的控制算法確保了溫度在設定點的精確維持,以實現快速和可重復的處理。此外,該模型的低功耗確保了高效的操作和最小的過熱風險。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是一種理想的擴散爐溶液,提供卓越的性能,可重復的工藝結果,可靠的服務。
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