二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242096 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9242096
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Vertical diffusion furnaces, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種垂直型、軌道質量輔助垂直流、單晶圓、擴散爐及苛刻產品的附件。該裝置具有獨特的形狀,水平電加熱器配置,提供精確的局部加熱和冷卻特性。設計為提供高溫擴散的低溫退火。TEL A303i為半導體器件制造的苛刻應用提供了有吸引力的性能配置文件。該設備可靠的垂直流退火能力非常適合制造設備所需的精密圖案層。該設備還提供寬廣的溫度控制過程窗口。其熱均勻性控制精度能夠在整個加熱和冷卻過程中進行精確監測和調整。TOKYO ELECTRON A 303 I包括大型、高度光譜分級、雙殼石英管、磁懸浮電動機和確保均勻熱分布的氮化物壁石墨襯裏等組件。它具有低調的設計,可確保安全訪問。TOKYO ELECTRON A303i的獨特之處在於它在同一裝置內提供擴散和退火能力。該設備包括顯示器、控制器和用於溫度和過程控制的軟件包。顯示器可以調用數據並在液晶屏上繪制每個進程的性能圖表。控制器光學訪問初級交流發電機和熱爐的輸入參數和工作條件。該控制器還用於監測熱退火過程,並為適當優化的結果提供參數。TEL A 303 I包含高科技、操作和安全指南,可幫助優化操作。該設備在任何所需溫度下均能提供均勻的加熱和冷卻性能,以確保產品的一致性。用戶還可以訪問用戶手冊中的提示和技巧以及核對清單。該裝置經認證符合嚴格的安全準則,被高度認為是現有最可靠和最高效的擴散爐之一。
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