二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9261571 待售

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON A303i擴散爐是一種專門的半導體制造工具，設計用於在矽基板上沈積外延膜。它是芯片制造商在制造微處理器和其他電子元件時常用的。TEL A303i有一個高溫熱室，由耐熱陶瓷加熱器面板封閉。在熱室內部，用一個加熱的坩堝來擴散被沈積的材料。基板放置在熱室的原子核中，由陶瓷加熱器面板均勻加熱。此外,多區域溫度控制功能允許整個基板表面的溫度均勻性和穩定性。TOKYO ELECTRON A 303 I的溫度範圍為300-1400 °C，溫度可控制在± 1 °C以內。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I也有一個內建的自動質量流控制器（MFC），允許將反應物氣體精確地輸送到加熱的熔爐。MFC調節輸送到腔室的反應物氣體量，確保外延層沈積過程的重復性和準確性。另外，室內壓力可以用內置真空泵精確控制。為保證均勻優質的外延層沈積工藝，TOKYO ELECTRON A303i配備了先進的氣體淋浴設備。該系統由兩條獨立的氣線組成，淋浴壓力可調。這保證了一個均勻的層厚度和均勻的氣體分布橫跨基板。而且，A 303 I配備了幾個安全特性，比如溫度過高和壓力過大的報警器。它還包括一個實時監測單元，提供有關沈積過程的性能數據，包括氣流和溫度。此功能允許更大的過程控制和調節。綜上所述，TEL A 303 I擴散爐是一種專用的半導體制造工具，適用於在矽基板上生產高質量的外延層。它配備了先進的氣體淋浴機和多區溫度控制功能，允許精確和可重復的層沈積過程。此外,內置的安全功能確保了用戶的最大安全。