二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9270888 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種強大的擴散爐，具有許多不同的特性和配件。專門設計用於復合半導體材料和薄膜的生長等高溫和超高溫過程。該爐設有陶瓷真空室、專利溫度控制機構和高效加熱設備。溫度控制機制的作用是確保處理後的溫度上升和下降時的均勻性。加熱系統能夠運作至2000 °C，使用石英室管，有兩根石英棒和兩個加熱器。爐子有一個綜合控制單元，管理室內的溫度和氣氛。這種控制機器提供對多區域供暖和制冷的精確控制，並允許在整個過程中對溫度進行編程和精確維護。它還具有冷卻壓力控制功能,可減少氧化並保持刀具溫度穩定。TEL A303i帶有幾個可選附件,以確保獲得最佳效果。其中之一就是Load-Lock&Wafer Transfer Asset，它經過專門設計，可以快速準確地將晶圓和基板從load-lock室轉移到爐膛中，反之亦然。它還包括一個熱解石墨電池，確保氧化保持在最低限度。TOKYO ELECTRON A 303 I也有可選的「熱區」爐。該熱區用於確保盡可能高的加工溫度和防止樣品汙染。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是市場上最先進的擴散爐之一，為用戶提供了包括出色的溫度均勻性、易於使用的控制模式和出色的晶圓處理能力在內的全方位功能。這是一個優秀的工具，對於那些尋求精確的溫度控制，可靠性和優異的性能在他們的擴散爐。