二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271013 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9271013
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Vertical diffusion furnaces, 12" Process: DIFF 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是專為半導體研究制造而設計的強大擴散爐。這種工具有助於摻雜劑擴散到基材中,從而產生復雜的半導體器件。TEL A303i具有五個垂直區域和一個公共上部區域。所有五個區域在溫度和大氣中都是獨立控制的。TOKYO ELECTRON A 303 I在氧化和還原大氣層以及惰性氣體環境中都能達到高達1400 °C的溫度。此外,該腔室可以在高純度氫氣和氯基大氣中運行。A303i配備了最新的PAM-2000控制系統、先進的傳感器陣列以及用於監測和維護最佳晶圓處理條件的儀器。它還提供了一個用戶可控的蓋子。這種靈活的蓋子使用戶能夠通過玻璃門調整開口數量或進入晶片。強大的TOKYO ELECTRON A303i還具有可調節的電池板間距、大型碳化矽底頂電池板、時尚的盒式磁帶托架、自動晶圓傳輸端口、步進電機驅動系統等等。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I擴散爐為尋求精密半導體器件生產的用戶提供了最大的工藝控制和靈活性。憑借其創新的特點和先進的技術,A 303 I是廣泛半導體應用的絕佳選擇。
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