二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271015 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是為矽片熱處理而設計的擴散爐及相關設備。這個先進的系統以加熱的墻壁、石英爐，以及容納多種材料如多晶矽、鋁、磷、以至的摻雜能力為特色。石英爐允許用戶精確控制石英襯砌室的溫度和壓力，為可預測和可控的熱處理提供了一個完美的環境。TEL A303i可提供高達1200 °C （2192 °F）的最高溫度,石英腔室內的均勻度低至± 5°C。該腔室還設計用於最大限度地減少晶圓因加熱和冷卻造成的損壞；一個創新的設計特點是內置水套保護石英免受任何熱沖擊。TOKYO ELECTRON A 303 I可讓使用者精確控制溫度、時間和壓力。預編程功能，包括浸泡時間和階梯加熱，可為用戶提供對熱處理參數的更大控制。流程控制器通過提供功能強大的車載計算機和用戶友好的軟件進一步增加了設備的靈活性,允許用戶手動對流程進行編程或利用預先編程的功能。此外,用戶可以從各種流程設置中進行選擇,以自定義每個熱流程。安裝在腔室上的傳感器在整個熱過程中保持晶圓溫度和壓力的控制和監控。在硬件方面，這臺機器由一個石英管、一個真空室和一個石英圓頂組成，每個圓頂的設計都與工具的最新技術兼容。資產還配備了安全氣體壓力調節器，以確保所使用的氣體保持在規定的限度內。此外，晶圓加熱器板、熱板和石英板可用於更加高效和可靠的熱處理。303 I是一種可靠、易於使用的擴散爐和附件模型,旨在為用戶提供對熱過程的精確控制。它提供高達1200 °C的最高溫度能力、低至± 5 °C的均勻性以及預先編程的功能,包括浸泡時間和階梯加熱,以滿足各種熱處理需求。這種設備由於內置的防熱沖擊功能以及精確控制溫度、時間和壓力的能力，非常適合矽片加工。