二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271020 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種最先進的擴散爐和附件,旨在最大限度地提高半導體制造工藝的熱處理效率和質量。TEL A303i在脆性膜、RTP、PAE、ALD、封裝和SiC氧化過程中表現出色。它適用於各種應用，從超高吞吐量原型設計到用於生產的套件配置。TOKYO ELECTRON A 303 I有一個基爐組件，帶有氧化鋁塗層的負載端口，用於晶圓的快速和安全的裝卸。負載端口內襯有凹進的靜電卡盤屏蔽裝置，以提高均勻性。晶片裝載機能夠在一個周期內傳輸多達200個4英寸、150個6英寸和80個8英寸晶片。卡盤還設計了加熱器，用於統一的溫度控制。A303i配有全程序排氣溫度控制和自動排氣控制的溫度控制器。風冷高溫計可進行精確的溫度測量。它還具有閉環處理反饋回路系統，其中使用各種傳感器的反饋來維護過程參數和質量。該爐具有先進的數據分析和參數調整軟件接口.溫度、時間、氣流、壓力等參數都可以借助觸摸屏控制面板實時調節。該軟件還包括一個實時數據查看器,用於查看流程參數並幫助進行故障排除。TOKYO ELECTRON A303i還為用戶提供了其他功能,如差分泵送以減少氣體負荷波動、快速冷卻腔室的「快速冷卻」選項、雙區域溫度控制以及用於安全溫度傾斜的過程控制熱坡道。在安全性方面，TEL A 303 I擁有UL和CE Certifications，使得它可以在大多數生產環境中安全使用。該機還具有防酸不銹鋼框架和耐用的石英密封件，以防止任何腐蝕或泄漏。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是各種熱過程的理想工具。它提供了出色的工藝一致性、高吞吐量、精確的溫度控制和工藝數據分析功能,以確保以最高效的方式滿足半導體制造需求。