二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271021 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是為半導體生產而設計的擴散爐及配件。這種特殊的擴散爐配備了全自動大氣水平、溫度、輸出和強度控制器以及可調蒸發源等先進技術，創造出極為均勻的熱環境。此外，TEL A303i允許在生產過程中同時進行不同基板的熱氧化、退火和擴散。TOKYO ELECTRON A 303 I具有由其石英管爐室所啟用的高溫能力，能夠達到高達1100 °C（2012 °F）的溫度。該爐采用TEL獨特、節能的輻射加熱技術，既高效又有助於減少溫室氣體排放。它還配備了溫度穩定器設備，在較長的生產周期內保持工藝穩定性。此外，它還配備了晶片支架放置傳感器，該傳感器與排氣系統配合工作，以確保腔室的溫度保持均勻。TEL A 303 I的先進功能也使它能夠精確控制氣流和混合物。除了控制氣流和混合物外，爐子還設有各種接口端口，用於外部測量壓力、流量和溫度。這些端口還可以集成各種其他設備,例如用於記錄生產數據的PC。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I通過了無數次安全和人體工程學測試，以確保該裝置即使在長時間的操作下也是用戶友好的。此外，A 303 I操作所涉及的每一個過程都由高度精確的自感單元進行雙重檢查和監控。根據使用目的,A303i有一系列可選部件,使用戶能夠自定義設備以最好地滿足其需求。可以關閉的組件包括石英容器、激發機組件、排氣工具、冷卻風扇以及遠程監視器和控制器。這些特性使得TOKYO ELECTRON A303i市場上最先進的擴散爐。它為用戶提供了最佳半導體生產所需的最精確、最統一的條件。