二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種擴散爐及其配套配件，為改進半導體產品加工而開發。這種擴散爐的最大溫度為1300 ℃，設計用於氧化和擴散等高速度熱過程。爐子裝有能檢測異常溫度狀態的傳感器，允許精確控制內部溫度。它還具有一個標準的晶片盒式插座，以及一個盒式裝卸設備，方便晶片操作。此外，該爐還擁有一套可處理少量晶圓的自動盒式裝載系統。該單元通過更快地移動晶片並縮短加熱和冷卻所需的時間來提高晶片到晶片的均勻性。爐內采用石英玻璃，由於提高了透明度，使得晶片的充放電效率更高。該室還配備了LED照明機，使得在爐內各處尋找物品的過程順暢。TEL A303i具有很強的適應性，可應用於各種熱處理（退火、氧化等），也能處理大批量生產。這種爐是為了極致的穩定性和可靠性而設計的，有一個自動重新啟動的機制，可以讓工具在發生電力故障的情況下再次運轉，以及一個可選的內部氣體註入資產（GIS），可以在必要時用來引入惰性氣體。TOKYO ELECTRON A 303 I是任何半導體產品加工的重要組成部分，提供一致、可靠、安全的熱處理解決方案。A 303 I具有從傳感器到自動重新啟動機構的各種功能,是任何工藝工程師的理想選擇。