二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311191 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是專門為生產半導體而設計的擴散爐及配件。它是一種垂直型擴散爐，其腔室呈圓柱形，安裝在剛性框架上。爐膛采用特殊等級的不銹鋼制成，設計能夠承受擴散過程中使用的高溫和壓力。TEL A303i可以執行多種擴散過程，如低壓、高壓和快速熱處理。該爐采用帶觸摸板顯示屏的面板控制，操作方便，包含多種安全功能，包括緊急停止系統和自動氣體關閉系統。TOKYO ELECTRON A 303 I可以處理多種晶圓，晶圓尺寸範圍為2至6英寸。該爐設計為支持1,100 °C的最高溫度，每批最多可容納50個晶圓。它還能夠一次加熱和冷卻多個晶片，這樣就可以單批處理。A 303 I還配有車載供氣調節器，便於調節爐內氣壓。爐子還配有許多配件，如石英襯裏、晶片支架、真空泵以及工藝擴散所需的其他物品。所有這些配件都是為了延長爐子的壽命和提高爐子的效率而設計的。為了進行預防性維護，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I包含了一些自我診斷功能和監測器，可用於檢測爐子的潛在問題。這些自我診斷測試的結果可以用來表明需要修理或重新校準爐子。總體而言，TEL A 303 I是一種可靠、用戶友好的擴散爐，設計符合半導體生產標準。它具有先進的安全特性，並配有多種配件，使擴散過程更加容易和高效。