二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311324 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9311324
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEKTEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種基於熱控環境和先進材料處理的高精度熱輔助工藝設計的擴散爐設備。擴散爐本身由兩個隔室組成,內部是熱區,外部是氣區。為了安全起見,將熱區保持在均勻溫度下,並隔離氣區。爐外采用高品位不銹鋼制成,可用可燃絕緣材料絕緣。溫度控制是通過強制空氣和輻射加熱器的組合來實現的。另外,還可以連接一個導熱室進行小規模操作。該系統提供各種附件以增強性能和功能。氣體管理單元控制氣體被送入爐子的速率,從而能夠精確控制流量和數量。物料處理機提供精確的物料轉移進出處理室。可調進料器將材料從進料帶送入處理。對於復雜的裝載要求,可以將幾個堆棧和自動輸送機組合在一起,形成一個靈活的物料處理單元。熔爐中的數據記錄和分析是通過各種溫度傳感器完成的。該工具配有圖形用戶界面,能夠顯示詳細的流程數據。數據以實時圖表和圖表的形式記錄和顯示。可以通過以太網端口遠程監視和控制整個資產。此外,該模型還設有一個預處理和後處理站,以便在處理過程之前和之後對材料進行質量控制。後處理功能包括蝕刻、檢驗和樣品儲存。該設備旨在最大程度地減少停機時間,從而實現快速高效的物料處理。TEKTEL A303i是一種環保、可靠且經濟高效的精確熱處理解決方案。它提供了在許多高級材料處理中實現卓越精度、質量控制和性能的工具。
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