二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9314615 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i擴散爐及配件設計用於處理效率高、功率高的半導體晶片。設備包括爐膛、電阻加熱元件、惰性氣體源、非反應性氣體源、冷卻風扇和電源。爐膛是為容納低壓過程環境而設計的，由陶瓷和金屬制成。它具有可編程的溫度範圍，從30℃到1,200℃，使得可調節的過程流量和溫度的精確控制。加熱元件由鐵鉻合金導線組成，為加工室提供均勻的傳熱和絕緣。惰性氣體，通常是氮氣或氦氣，通過腔壁輸送，以確保均勻的熱量分布和清潔的環境。冷卻風扇用於通過抽取電阻加熱元件產生的熱量來保持腔室溫度。最後，需要一個專用的電源來為系統提供最佳的電力流量。TEL A303i擴散爐設計用於質量控制、半導體制備和晶圓摻雜應用。占地面積小，操作方便。此外，它的特點使得可定制和可編程的過程流有助於產生高質量的結果。溫度控制的精確度使設備具備了針對特定應用調整工藝流速的能力。除了擴散爐外，還可以購買配件，以進一步定制機器。這些附件可以連接外部設備，如質量流控制器、高溫計、附加傳感器和監控軟件。軟件可以跟蹤在腔室周期中實現的工藝參數，收集的數據用於生成綜合報告。總體而言，TOKYO ELECTRON A 303 I擴散爐及配件設計可靠高效。它是半導體制備和晶圓摻雜工藝的一個經濟高效的選項，為用戶提供一個可定制的工藝流程和質量控制功能。