二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種高性能、多功能的擴散爐及其配件。它是為滿足先進半導體工藝技術應用的需要而設計的。它提供精確的溫度控制，過熱保護，前後熱分布均勻。其先進的溫度均勻性控制技術保證了晶片基板溫度的精確分析.該爐采用非常大的爐體積，足以處理大批量晶片加工。它還包括一個車載監控設備，使用戶能夠實時監控流程狀態。使用此監控系統還可以幫助用戶做出更好的決策,提高生產效率和吞吐量。TEL A303i設計靈活,可輕松與現有流程工具集成。它還具有一個高級單元,可以執行各種配置。它能夠支持大型晶片工藝，規模可達2,400mm。該爐可進行調整和配置，使溫度精度達到0.1°C，可重復溫度控制。TOKYO ELECTRON A 303 I的設計保證了溫度曲線的重復性和高精度。它是由高質量的材料構成的，具有超高溫運行的集成石英反應器和最佳體積的大反應室。此外，它還包括在晶圓上進行統一對準的自動化晶圓加載和轉移臂。它還具有安全、耐腐蝕的不銹鋼外觀,可確保在廣泛的工作溫度範圍內耐用。此外,該爐的設計,對環境的熱量損失最小,絕緣性能極佳.反應室內部裝有加熱氣體，以保持晶圓材料內部和下方的精度溫度。TEL A 303 I還具有廣泛的安全功能,提供高水平的安全性。這些功能包括用於立即關閉的緊急停止按鈕、用於防止過程故障的過熱傳感器,以及用於向周圍環境釋放最小熱量的密封隔熱芯。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I配備了防止晶片掉入反應室的故障安全障礙物檢測機。它還與廣泛的自動化和過程控制配件兼容。總而言之，A 303 I是一種多功能擴散爐及其附件，旨在為先進的半導體應用提供精確的溫度控制、過熱保護和均勻的熱分布。其先進的溫度均勻性控制技術和廣泛的安全特性使其成為行業要求苛刻的理想選擇。