二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315049 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種高溫擴散爐，配有一系列配件，使用戶能夠生產出具有優異電性能的結構。TEL A303i非常適合制造高性能設備。其先進的設計可以實現卓越的溫度均勻性。TOKYO ELECTRON A 303 I擁有高達1800°C的最高溫度，並具有獨立的熔桿構造和動作類型的大氣系統。該擴散爐包括一個氣體供應面板，以減少冷卻時間。它有兩個PENN- STYLE™爐，裝載能力高達235毫米（9.25英寸）。精確的溫度控制確保了可重復和最佳的結果。303 I具有多種配件,可提高用戶的效率和生產力。前體餵養系統可用於供應有機或無機粉作為前體。可以連接快速熱氧化劑（RTox）模塊，以實現高面積吞吐量和高質量氧化膜的生產。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I還包括一個可編程電子控制器（PEC），以確保可靠的可重復設備處理。它具有易於使用的觸摸屏和集成的nichrome條帶控制,以實現均勻的溫度分布。PEC還包括反饋控制,允許最多30個程序作為配方存儲。此外,A303i還包括確保最大正常運行時間的高級診斷功能。它具有板載質量流控制器（MFC），提供準確穩定的氣流和熱耦合預熱功能，以最大程度地減少冷卻時間。該爐還配備了緊急關閉閥和集成的安全互鎖系統。TEL A 303 I提供精確的溫度控制和高級功能,幫助用戶簡化生產並快速達到最高產量。憑借其廣泛的配件，TOKYO ELECTRON A303i可以定制以滿足多種應用。