二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315050 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種用於晶圓加工的高性能擴散爐及相關配件。它是用於半導體生產環境的可靠、易於使用和持久的工具。TEL A303i是一種用於熱過程控制的高溫多區爐。它為各種基材和材料提供精確和可重復的熱處理條件。TOKYO ELECTRON A 303 I的最高溫度為1200 °C，範圍可達20°C至1200 °C。它還具有± 2°C的均勻性和± 0.1°C的穩定性。它利用先進的先進控制系統，專門為晶圓在短時間內的溫度映射而設計。303 I能夠提供有關晶片溫度的動態信息，這反過來又可以用來防止晶片扭曲或輪廓不均勻的熱處理。TOKYO ELECTRON A303i還配備了石墨敏感器襯裏，以改善散熱和更好的溫度監測。敏感器襯裏還有助於保持晶圓生產過程中的清潔處理環境。除了高品質的熱處理外，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I還為用戶提供了多種工藝氣體控制系統。它能夠實現範圍廣泛的工藝氣體混合比率，從50/50到99/1的幾種氣體，並為優化晶片質量提供了很大的靈活性。它還通過在線氣體流量計提供精確的過程控制。A303i具有加熱速率、溫度分布、工藝配方等多種工藝參數,可進行編程以滿足個別工藝要求並提高設備性能。它包含各種安全選項，包括溫度傳感器和過流保護措施。所有這些都使TEL A 303 I成為一個高效、準確、安全的熱處理系統。憑借其先進的技術和頂尖的特點，它為晶圓生產提供了無與倫比的性能。