二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351450 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON A303i是來自TEL的革命性擴散爐及配件包裝,可用於廣泛的應用。該套件包括一個高科技擴散爐和一個集成的TEL A303i控制器,用於精確控制溫度和生長條件,以及操作所需的一系列附件。TOKYO ELECTRON A 303 I的最高處理溫度為1050 °C,非常適合一些技術最先進的材料,例如半導體器件和介電膜。A303i擴散爐具有節省成本、高溫控制和精確可重復性等優點。與TOKYO ELECTRON A303i擴散爐相關的成本節省可歸因於其非常高效的加熱元件,這些元件使用的功率可高達30千瓦,或電力和流動過程氣體的組合。A 303 I擴散爐的功率分配是完全可定制的,可以針對不同尺寸的晶圓進行調整。通過使用TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I,用戶可以確保其晶片均勻加熱,無論其大小或形狀如何。此外,TEL A 303 I擴散爐提供了高度精確的溫度控制,這意味著所有用戶都可以實現所需的晶體生長,而不必擔心損壞樣品。在可重復性方面,TEL/TOKYO ELECTRON A303i的可重復性精度小於± 0.2°C,確保實驗的可重復性保持精確,這對於實現可重現的結果至關重要。此外,專利氣體襯裏系統通過提供均勻的氣體流動,確保擴散過程中不發生災難性事件,大大降低了操作過程中的安全風險。TEL A303i包還包括操作所需的幾個附件。這些附件包括10升/分鐘轉速的真空泵,用於快速晶圓排空,高容量氣體混合閥,兩個專用端口,帶有用於排氣的高流量閥,以及一個可選的氣體串聯閥,用於更高精度的氣體流量。此外,每個系統都附有易於閱讀的手冊,有些甚至包括培訓工具,以便用戶熟悉TOKYO ELECTRON A 303I。A303i擴散爐和附件包非常適合那些尋求精確晶體生長和其他擴散過程的通用可靠系統的人。TOKYO ELECTRON A303i利用高效的加熱元件、精確的溫度控制、可重復性和全面的安全元件,是廣泛應用的理想解決方案。
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