二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358606 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種先進的擴散爐及附件，用於各種熱處理應用。它提供高精度的溫度控制，爐頂至爐底均勻溫度範圍為900 °C。它還提供了增強的分析功能、改進的可靠性和熱均勻性,以及快速的響應時間。TEL A303i能夠進行高達900 °C的熱氧化，先進的熱擴散，可用於退火和外延生長。該爐采用了一種高質量的強制空氣冷卻技術，可確保整個室內的溫度分布得到優化，以實現均勻散熱。空氣溫度可以逐步地或連續地設置為整個室內的不同值。這為所需的工藝創造了精確和均勻的溫度條件，並產生了卓越的工藝質量。TOKYO ELECTRON A 303 I裝有發電機和兩個消聲器。發電機實時發布詳細的工藝信息，允許對氧化過程進行可靠的控制。此外，發電機有兩種板載傳感器和監測器，用於測量空氣的流量以及加熱元件的溫度。這確保了精確的溫度控制，大大提高了爐子的精度。TOKYO ELECTRON A303i還附帶一個可選的自動晶圓傳輸設備，允許多達24個晶圓同時處理。該系統旨在通過控制每個晶片在時間控制操作過程中的軌跡和旋轉來提供最佳和均勻的結果。這確保了可重現的結果,並進一步優化了流程。此外,A 303 I還通過集成密碼保護的「開機」設備提供高數據安全性,從而防止未經授權的人員未經批準使用計算機。該爐還確保能耗低的不間斷運行，設計目的是將總運行成本降至最低。總之，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是提供高精度溫度控制、增強分析功能、可靠運行、熱均勻性、快速響應時間的先進擴散爐及配件。它適用於廣泛的熱處理應用，在能耗方面可節省成本。