二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358719 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9358719
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Vertical diffusion furnace, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種真空衍射爐和附件封裝,設計用於各種工業和制造過程。TEL A303i作為一種單室真空爐,工作溫度範圍為100-2,000 °C,高載荷容量為Front: 40 kg,後部為60kg,冷卻速度超快。控制器是帶有12英寸彩色液晶觸摸面板的PLC,可對多達64個程序進行手動或PC操作。嵌入式風扇擴散器和大容量真空室為內部環境帶來了更加均勻的溫度。TOKYO ELECTRON A 303 I的應用包括將Si和Al離子植入陶瓷基板、纖維碳化、零件回火、碳氮化、擴散塗層。它具有四種氣體-入口系統,其中幾種氣體如N2、Ar、O2等可以獨立供氣。化學氣相沈積(CVD)也可以通過引入一些共享組件。室內氣體分布與離軸氣體入口設計一致。它具有開闊的門設計,便於使用輕質材料交換負載。通過電機提升系統可以調節排氣口角度,使排氣操作正常.A 303 I內部的隔音結構減少了爐膛內外的噪音。它還有一個PC自動監控終端,在操作過程中發出/發出警告。A303i因其溫度範圍廣、PLC控制器、多進氣系統、氣體分配均勻、門結構輕便、排氣口調節系統、隔音結構,是各種制造和工業過程中必不可少的工具。除此之外,它還具有高度可靠的操作歷史、低成本維護和安全法規合規性,從而提供安全高效的操作。
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