二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9400223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一種最先進的擴散爐，設計用於卓越的溫度均勻性和增強的過程控制。它提供臨界溫度坡道，精確的熱處理和提高效率。它還配備了像高功率射頻放大器這樣的先進內部元件和創新的擴散器技術，使其適合批量和集群工具生產過程。TEL A303i具有多區域配置,具有大的加熱室和兩個可移動的加熱區。它在腔室的不同部位實現了極好的均勻性。加熱室可以達到高達1400 °C的溫度，使其適合各種半導體制造過程，包括退火、幹燥、驅動、氧化和氮化。該室還具有邊緣絕緣以及強大的側向加熱，以確保高水平的過程可重復性。TOKYO ELECTRON A 303 I還增強了射頻功率傳遞和控制，提高了晶圓對晶圓的均勻性。利用先進的射頻匹配技術提供合適的功率束，避免射頻對相鄰晶片的幹擾。這種革命性的控制設備還允許精確的溫度修整和獨立的區域加熱。303 I還配有廣泛的高級配件，如惰性大氣流動系統、惰性氣體單元、手套箱和LPCVD機。惰性大氣工具可確保在高達1300 °C的溫度下進行穩定的化學加工。惰性氣體資產提供惰性大氣，以盡量減少晶片上雜質的引入。手套箱將腔室與周圍空氣隔離，提高溫度均勻性，防止氧化。最後，LPCVD模型為PECVD提供了更經濟高效的替代方案。TOKYO ELECTRON A303i是一種特性豐富的擴散爐，具有優異的重復性能和整體性能。其先進的內部元件和通用配件為半導體制造應用提供了完美的解決方案。