二手 TEL / TOKYO ELECTRON A808SE #9350868 待售

ID: 9350868
晶圓大小: 8"
優質的: 2013
PI Bake furnaces, 8" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A808SE是一種用於輕元素擴散和CZ生長的擴散爐及輔助設備。它是一個多層次的結構,旨在為用戶提供最優的溫度控制和均勻性。該系統采用最佳的平板均勻加熱設計,用於精確的溫度控制和生產矽片、IC、LED和光伏設備所需的均勻性。它還具有高精度全閉環控制單元和內置的氮氣循環機,以獲得最佳性能。此外,刀具地形還包括一個載荷鎖,它有助於均勻分布半導體器件的溫度和均勻性。TEL A808SE采用兩級加熱設備,以實現溫度均勻性和快速的溫度上下循環。該裝置能夠達到1250°C的溫度,並配備了先進的高溫計和PLC控制器,以及用於精確溫度控制的熱電偶傳感器。由於反應元件快、反饋響應快,它具有1°C ±的高精度。此外,高可靠性冗余控制設備支持模型的高性能。工作站還包括一個用戶友好的觸摸屏顯示面板,以及一個真空,陶瓷內飾易於操作,維護和清潔。TOKYO ELECTRON A808SE內置安全控制,以防止意外實驗發生。該系統包括手動和自動溫度控制模式,以及一個自動蓋子控制單元,以防止在出現過度放熱反應等問題時過度采樣或過熱。此外,該機還提供多種高科技功能,用於平穩的實驗操作和詳細的分析。A808SE具有多種特征和高溫,是光元素擴散和CZ生長的理想工具。它為溫度高達1250°C的高精度實驗提供了快速反應和精確控制,是半導體生產的理想選擇。
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